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不了解擴散硅壓力變送器的特點怎么能正確的使用它呢
點擊次數:150 發布時間:2022-03-22
  擴散硅壓力變送器是利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術經過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學特性,在同一切硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。
  傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,傳感器的電阻值發生變化,用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
  今天小編要與大家分享的是擴散硅壓力變送器所具備的產品特點:
  1、適合制作小量程的變送器
  硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區,制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。
  2、輸出靈敏度高
  硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。
  3、精度高
  由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現,沒有中間轉換環節,重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
  4、由于工作單性形變低至微應變數量級,彈性芯片最大位移在亞微米數量級,因而無磨損,無疲勞,無老化,壽命長達1×103壓力循環,性能穩定,可靠性高。
  5、由于硅的優良化學防腐性能,即使是非隔離型的傳感器,也有相當程度的適應各種介質的能力。
  6、由于芯片采用集成工藝,又無傳動部件,因此體積小,重量輕。
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